“第一個,需要高精度的光刻機(jī)?,F(xiàn)在你們這兩臺,是沒有辦法。但是他們上不了生產(chǎn)線。要新型號的,精度至少要達(dá)到10微米級別。”
當(dāng)前在國際上的主流光刻機(jī)的精度,已經(jīng)達(dá)到了0.5μm(微米),也就是 500nm(納米)。
LED用不到這么高的精度,后世最高的LED光刻機(jī)的精度,也才 800nm 左右。而在這個時代,LED光刻機(jī),只要精度在 10μm之下,就可以接受了。
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