“其實咱們國家起步并不晚。85年的時候，機電部45所研制出了分步光刻機樣機，通過電子部技術(shù)鑒定，認為達到美國4800DSW的水平。這應(yīng)當(dāng)是中國第一臺分步投影式光刻機，中國在分步光刻機上與國外的差距不超過7年。”
說道這里，張文華嘆了一口氣：“可惜到此為止，咱們國家大規(guī)模引進外資，科研停滯不前，科員人員待遇也很低許多紛紛跳槽，或者出國，尼康公司發(fā)展光刻機有幾個關(guān)鍵技術(shù)的攻克，就是咱...
“其實咱們國家起步并不晚。85年的時候，機電部45所研制出了分步光刻機樣機，通過電子部技術(shù)鑒定，認為達到美國4800DSW的水平。這應(yīng)當(dāng)是中國第一臺分步投影式光刻機，中國在分步光刻機上與國外的差距不超過7年。”
說道這里，張文華嘆了一口氣：“可惜到此為止，咱們國家大規(guī)模引進外資，科研停滯不前，科員人員待遇也很低許多紛紛跳槽，或者出國，尼康公司發(fā)展光刻機有幾個關(guān)鍵技術(shù)的攻克，就是咱...