第二百四十三章 超紫外激光！波長1.5nm！功率2000w?。?）

　　　　當北方的清晨亮起第一抹陽光，長春光機所地下實驗室里，一場激動人心的實驗，也終于開始了。

　　激光發(fā)生器開始預熱，這是全套光刻機臺中最核心的部件之一，由中科光電院設(shè)計制造。

　　激光光源射出后，首先會進入光束矯正器，矯正器共有三組，調(diào)整光束入射方向，讓激光束盡量保持平行。

　　調(diào)整完畢的平行激光，會進入能量控制器。

　　顧名思義，能量控制器是調(diào)節(jié)激光功率的存在，控制最終...