六十四 改造光刻機(jī)
投影式光刻機(jī),最重要的就是掩膜版的制作,掩膜版制作完成,工作就算是完成了大半。
不過(guò)由于多層次立體晶體管架構(gòu)的特殊性,掩膜版并不止一塊,而是多塊多層次,分別進(jìn)行曝光,才能完成。
多塊掩膜版的切換,自然也不是原本的光刻機(jī)能夠做到的,為此楊青對(duì)光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng),還有工作臺(tái),做了大改,以適應(yīng)這些特別的加工需求。
也幸虧楊青是生活在華國(guó)這個(gè)加工業(yè)的大國(guó),大部分的零部件,哪...