第四百一十二章:悲催的小島國
負(fù)性光刻膠在硅基芯片中又被稱為‘光致抗蝕劑’。
這種材料涂抹在晶圓上后,在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應(yīng),使得單晶硅晶圓的物理性能,特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化。
從而在后續(xù)的顯影過程中能保留這些區(qū)域。
所以負(fù)性光刻膠是制造高精度集成芯片用的一種主要光刻膠。
而因為石墨烯單晶這種材料的特性,導(dǎo)致它在面對正性光刻膠的時候,曝光區(qū)域并不會被輕易蝕刻,所以只...
負(fù)性光刻膠在硅基芯片中又被稱為‘光致抗蝕劑’。
這種材料涂抹在晶圓上后,在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應(yīng),使得單晶硅晶圓的物理性能,特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化。
從而在后續(xù)的顯影過程中能保留這些區(qū)域。
所以負(fù)性光刻膠是制造高精度集成芯片用的一種主要光刻膠。
而因為石墨烯單晶這種材料的特性,導(dǎo)致它在面對正性光刻膠的時候,曝光區(qū)域并不會被輕易蝕刻,所以只...