如果說(shuō)航空發(fā)動(dòng)機(jī)，代表了人類科技領(lǐng)域發(fā)展的頂級(jí)水平，那么光刻機(jī)就是半導(dǎo)體工業(yè)界最為耀眼的明珠。
作為光刻工藝的核心設(shè)備，也是所有半導(dǎo)體制造設(shè)備中技術(shù)含量最高的設(shè)備，光刻機(jī)涉及到精密光學(xué)、精密運(yùn)動(dòng)、高精度環(huán)境控制等多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù)。
就在去年。
郁金香國(guó)的ASML成功推出了第一臺(tái)EUV光刻機(jī)NXE，也是第一臺(tái)第五代光刻機(jī)。
此后十年，乃至可預(yù)見的更長(zhǎng)的時(shí)間段中，...
笙簫劍客
不好意思，今天起晚了，本來(lái)六點(diǎn)半就醒了，被窩太暖和，又睡了一個(gè)回籠覺