當然此時這幫人心頭在癢也沒用，畢竟這份資料還是屬于別人的，他們唯一能做的只是繼續(xù)往下研究。
緊跟著資料中介紹的是EUV光源輻射能的收集問題。
介于EUV光源發(fā)出的輻射波長極短，物質(zhì)對其的吸收十分強烈，所以完全無法使用之前的透射式光學系統(tǒng)對輻射進行收集，所以這也的確是EUV光刻技術(shù)的一大難點，不過他們研發(fā)的掠入射式光源收集系統(tǒng)已經(jīng)基本上快要解決這個問題。
接下來在研...
一桶布丁
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