第八十九章 第二代光刻機(jī)誕生

　　趙燁給這臺(tái)光刻機(jī)設(shè)計(jì)的光刻機(jī)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，是利用了杠桿原理來實(shí)現(xiàn)的。

　　畢竟現(xiàn)在這臺(tái)機(jī)器還是幾乎是純手動(dòng)，趙燁利用精密的絲桿，再帶精密齒輪組，把底座的運(yùn)動(dòng)距離，放大了很多倍，這樣才能實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)外面設(shè)置的手輪，轉(zhuǎn)動(dòng)一圈，底座按照設(shè)計(jì)位移兩微米。這幾乎是這個(gè)時(shí)代的極限了。

　　這樣的手輪在光刻機(jī)的操作臺(tái)上有七個(gè)，分別控制底座不同的運(yùn)動(dòng)路徑。等到這套系統(tǒng)被安裝完畢后，幾個(gè)專家立即就進(jìn)行測...