第231章 第四代光刻機

　　第四代光刻機應(yīng)該是個什么樣子？應(yīng)該具備那些參數(shù)？這些東西，此時都已經(jīng)裝在了趙燁的腦子里。

　　首先，光刻機，顧名思義，要有光。

　　光是激光，而能用于工業(yè)生產(chǎn)上的激光，也就是那么幾個波段。目前來講，趙燁他的應(yīng)用的還是跟二十年前的一樣的高壓汞燈。

　　只不過這種燈也更新?lián)Q代好幾次了，提供的激光波長如今已經(jīng)到了436nm。光源的波長，直接影響著芯片工藝的制程。

　　簡單理解，...