第434章 這臺(tái)光刻機(jī)行不行?
葉回舟微笑著點(diǎn)點(diǎn)頭,說(shuō)道:“請(qǐng)您開(kāi)機(jī)通電,我想看看這部機(jī)器是怎樣運(yùn)作的!”
“好,任工,把車間通電!”
跟在后面的任技術(shù)員,趕緊跑到隔壁的配電房,拉閘通電。
王廠長(zhǎng)撫摸著這臺(tái)冰冷的機(jī)器對(duì)著葉回舟說(shuō)道:
“這臺(tái)機(jī)器一次可裝35片,在進(jìn)行接近式曝光試驗(yàn)時(shí),分離間隙在10-30微米,負(fù)性光刻膠的分辨率可達(dá)3-5微米,進(jìn)行軟接觸式曝光分辨率為2.5微米……”。...